淺析少子壽命測試儀的使用
更新時間:2020-08-21 | 點擊率:968
少子壽命測試儀是款硅片少子壽命測試儀,不僅適用于硅片少子壽命的測量,更適用于硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶等多種不規(guī)則形狀硅少子壽命的測量。
使用前的檢查:
開機1、檢測所有電源連接無誤后,按Power鍵依次打開DOS系統(tǒng)(上面)和Window系統(tǒng)(下面)的控機。
2、預(yù)熱(10分鐘以上)
3、檢測前準(zhǔn)備(1)雙擊wintau32圖標(biāo)入軟件;;(2)每次開機后Measure/Initialize行初始化。
使用步驟:
(1)接上電源線以及用頻連接線將CZ與示波器Y輸入端接通,開啟示波器。
(2)將清潔處理后的樣品置于電上面,為提靈敏度,請在電上涂抹點自來水(注意:涂水不可過多,以免水入光照孔)注意:涂水不可過多,以免水入光照孔。
(3)開啟總電源KD,預(yù)熱15分鐘,按下K接通脈沖電路電源,旋轉(zhuǎn)KW,適當(dāng)調(diào)電壓。關(guān)機時,要把開關(guān)K按起關(guān)機時,按起。
(4)調(diào)整示波器電平及釋抑時間,內(nèi)同步,Y軸衰減X軸掃描速度及曲線的上下左右位置,使儀器輸出的數(shù)衰減光電導(dǎo)信號波形穩(wěn)定下來。
少子壽命測試儀少子測量程從1μs到6000μs,硅料電阻率下限達0.1Ω.cm(可擴展至0.01Ω.cm)。測試過程程動態(tài)曲線監(jiān)控,少子壽命測量可靈敏地反映單晶體重金屬污染及陷阱效應(yīng)表面復(fù)合效應(yīng)等缺陷情況,是原生多晶硅料及半導(dǎo)體及太陽能拉晶企業(yè)少子壽命測量儀器。