描述: HA-HB系列扭力測試儀是用于校準(zhǔn)扭力扳手扭矩的儀器。儀器有手動、電動兩種測試方式,適用于"1/4"、"3/8"、"1/2"等多種規(guī)格的扭力扳手的扭力校準(zhǔn)。產(chǎn)品具有操作簡單、測試等優(yōu)點,是科研、廠實驗室的檢測設(shè)備。
廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家更新時間
2016-10-05訪問量
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品牌 | 恒奧德 |
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HA-HB系列扭力扳手測試儀 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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產(chǎn)品名稱:二探針單晶硅及多晶硅測試儀 產(chǎn)品型號:HHY8-GL-1 |
二探針單晶硅及多晶硅測試儀 型號:HHY8-GL-1
本儀器主要用于測量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況,以便硅材料的切割和。
為適應(yīng)大規(guī)模集成電路的迅猛發(fā)展,別是計算機(jī)芯片、內(nèi)存的發(fā)展,越來越多的使用到了大直徑、純度、均勻度更的單晶硅材料。目前,在美、德等的業(yè)家,均采用了二探針法,使用二探針檢測儀來測量大直徑單晶硅的電阻率分布情況。
儀器符合美ASTM 《“F391-77”關(guān)于二探針測量硅單晶試驗方法》的標(biāo)準(zhǔn),是種新型的半導(dǎo)體電阻率測試儀,適合半導(dǎo)體材料廠和器件廠用于二探針法測量單晶硅和多晶硅半導(dǎo)體棒狀材料的體電阻率,從而步判斷半導(dǎo)體材料的性能,導(dǎo)和監(jiān)視操作,也可以用來測量金屬材料的電阻,儀器具有測量度、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便、型美觀等點。也可以配四探針測試頭作常規(guī)的四探針法測量硅晶體材料。
儀器分為儀表電氣控制箱、測試臺、探頭三分,儀表電氣控制箱由靈敏度直數(shù)字電壓表、抗干擾隔離性能的電源變換裝置、穩(wěn)定度恒源和電氣控制分組成。測量結(jié)果由大型LED數(shù)字顯示,零位穩(wěn)定、輸入阻抗,并設(shè)有自校能。在棒狀材料使用二探針法測試時,具有系數(shù)修正能,從面板輸入相應(yīng)的修正系數(shù),可以直接讀出電阻率,使用方便。測試臺結(jié)構(gòu)新穎,型美觀,可以方便地固定好大小意尺寸的樣品,并可以作逐點選擇步測量,也可以自由選擇固定位置測量,電活動自如,具備鎖定裝置,方便重復(fù)測量。另外還配置了二處記錄板和轉(zhuǎn)椅,測試探頭能自動升降,探針為碳化鎢材料,配置寶石軸承,具有測量度、游移率小、耐磨、使用壽命長點。同時探頭壓力恒定并且可調(diào)整,以適合不同的材料。
儀器主要標(biāo):
1.可測硅材料尺寸:
直徑Φ25~Φ150mm滿足ASTM F-397的要求。
長度:100~1100mm.
2.測量方式:軸向測量,每隔10mm測量點。
3.測量電阻率范圍:10-3~103Ω-cm,可擴(kuò)展到105Ω-cm。
4.數(shù)字電壓表:
(1)量 程:0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V
(2)測量誤差:±0.3%讀數(shù)±2字
(3)輸入阻抗:0.2mV和2mV檔>106Ω
20mV檔及以上>108Ω
(4)顯 示:31/2位LED數(shù)字顯示,范圍0~1999。
5.恒源:
(1)電輸出:直電0~100mA連續(xù)可調(diào)。
(2)量 程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
(3)電誤差:±0.3%讀數(shù)±2字
6.二探針測試裝置:
(1)探針間距:4.77mm
(2)探針機(jī)械游移率:0.3%
(3)探針壓力:0~2kg可調(diào)
(4)測試探頭自動升降
7.二探針測試臺
(1)測試硅單長度:100-1100mm
(2)測試點間距:10mm
(3)測試臺有慢、快二種移動速度,快速移動速度為1000mm/分(均勻
手動)
8.電源:交220V±10%,50HZ±2HZ,消耗率<150W
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